文献

J-GLOBAL ID：201002277755634063   整理番号：10A1341297

パッケージング小型レーザ変位センサの開発-ロボティクス応用に向けたセンサ特性の評価-

著者 (4件)： 小口寿明 (日本精工) ,  笹尾邦彦 (日本精工) ,  小川博教 (日本精工) ,  飛田和輝 (日本精工)
資料名： 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会予稿集(CD-ROM))
巻： 2010  ページ： ROMBUNNO.1A2-C28  発行年： 2010年06月13日 
JST資料番号： L0318B  ISSN： 2424-3124  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,ガラス基板とシリコンスペーサ基板から構成されるパッケージングをもつマイクロレーザ変位センサを開発した。センサは変位センシングのためのVCSELとPDチップをもち,パッケージングはMEMS技術で作製した。設計したセンサはVCSELからのレーザ光を放射し,PDによって可動ミラーからの反射光を検出することによって変位測定が可能である。実験では,検出可能なストークが15mm以上であることが示された。それゆえ,開発されたセンサはロボティクスやメカトロニクス応用に向けた非接触または近接センサへの適用が期待される。(著者抄録)

シソーラス用語： *センサ ,  *レーザビーム ,  *垂直共振器形面発光レーザ ,  光センサ ,  フォトダイオード ,  *工学 ,  メカトロニクス ,  光 ,  *MEMS
準シソーラス用語： *変位センサ ,  レーザ光 ,  光学センサ ,  *ロボティックス ,  反射光

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (7件)： パッケージング ,  レーザ ,  変位センサ ,  開発 ,  ロボティクス ,  応用 ,  評価