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J-GLOBAL ID：201002279290611579   整理番号：10A1027149

ナノ加工のための容易な「空気成形」法

A Facile “Air-Molding” Method for Nanofabrication

著者 (5件)： ZHOU Ming (Center for Photon Manufacturing Sci. and Technol., Zhenjiang, CHN) ,  LI Jian (Center for Photon Manufacturing Sci. and Technol., Zhenjiang, CHN) ,  YAN Feng (Center for Photon Manufacturing Sci. and Technol., Zhenjiang, CHN) ,  FAN Xiaomeng (Center for Photon Manufacturing Sci. and Technol., Zhenjiang, CHN) ,  CAI Lan (Center for Photon Manufacturing Sci. and Technol., Zhenjiang, CHN)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 26  号： 18  ページ： 14889-14893  発行年： 2010年09月21日 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： モールド上のナノホールにおける空気-液体界面を横切る圧力差の調整により行われる「空気成形」法を用いて球状のナノキャビティーの形成を実証した。最初に,キャビティー形成を理論的に考察し,マクロスケールで実験的に確認した。次に,圧力を変化できる真空室にPDMSプリポリマで被覆したモールドを送り込むことによって圧力差を変化させ,300nm以下のパターン化表面上で実験を行った。その結果,空気-液体界面を横切る圧力差を導入した場合,球状キャビティー加工のための空気成形法がマクロスケールのみならずナノスケールでも可能なことが示された。キャビティーの形状は真空室における圧力を調整することによって容易に制御できた。

シソーラス用語： *ナノメータ加工 ,  *成形 ,  *気液界面 ,  ポリジメチルシロキサン ,  形状制御
準シソーラス用語： *ナノキャビティ ,  圧力差

分類 (3件)： 高分子固体の構造と形態学  (CG02022M) ,  膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： ナノ加工 ,  法