文献

J-GLOBAL ID：201002279855822862   整理番号：10A0856935

二波長ディジタルホログラフィック顕微鏡法によるμmレンジまでの高速非接触表面粗さ測定

Fast non-contact surface roughness measurements up to the micrometer range by dual-wavelength digital holographic microscopy

著者 (8件)： KUEHN Jonas (Ecole polytechnique federale de Lausanne, Lausanne, CHE) ,  SOLANAS Eduardo (Lyncee Tec SA, Lausanne, CHE) ,  BOURQUIN Sebastien (Lyncee Tec SA, Lausanne, CHE) ,  BLASER Jean-Francois (Trimos SA, Renens, CHE) ,  DORIGATTI Luca (Trimos SA, Renens, CHE) ,  KEIST Thierry (Trimos SA, Renens, CHE) ,  EMERY Yves (Lyncee Tec SA, Lausanne, CHE) ,  DEPEURSINGE Christian (Ecole polytechnique federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7718  ページ： 771805.1-771805.8  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面粗さ測定に対する最新の二波長ディジタルホログラフィック顕微鏡法(DHM)の性能を示した。単一波長と二波長の動作モードを使用することにより,本方法はμmまでの二次元粗さ測定を可能にする。試料は,17個のホログラムを用いて,5×0.3mm²までの表面を機械的に走査され,対応する位相画像はソフトウェアにより17個の画像を綴じ合わせる。本手法を7種類の粗さ標準に検査により立証した。また,本技術が二つの既存の良く知られた技術と一致することを実証した。

シソーラス用語： 表面粗さ ,  *ホログラフィー ,  *光学顕微鏡法 ,  非接触測定 ,  光干渉法
準シソーラス用語： ディジタルホログラフィー

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  ホログラフィーの応用  (BD03074U)

タイトルに関連する用語 (5件)： 波長 ,  ディジタルホログラフィック顕微鏡 ,  レンジ ,  非接触 ,  表面粗さ