文献

J-GLOBAL ID：201002280043860750   整理番号：10A1754295

全反射蛍光X線分析

著者 (2件)： 国村伸祐 (理研 基幹研) ,  河合潤 (京大 大学院工学研究科)
資料名： ぶんせき
号： 12  ページ： 667-673  発行年： 2010年12月05日 
JST資料番号： S0128B  ISSN： 0386-2178  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 全反射蛍光X線分析(TXRF)の応用範囲が10年以上前にはシリコンウエハの汚染検査だったのに対して,現在は陸水・土壌浸出水などの含まれる有害元素の定性・定量分析,すなわち,水や環境へと分析対象が変化した。TXRFの原理と特徴,主な研究論文のソース,関連分析法,研究と実用化の簡単な歴史,応用例および試料調製法とX線の全反射現象に関する物理としての今後の展開について解説した。

シソーラス用語： *蛍光X線分析 ,  ウエハ【IC】 ,  内水 ,  土壌 ,  浸出液 ,  有害物質 ,  元素分析 ,  定量分析 ,  定性分析 ,  試料調製 ,  応用研究 ,  水質試験
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  汚染検査 ,  *全反射蛍光X線分析

分類 (1件)： その他の物理分析  (CC03014E)

タイトルに関連する用語 (1件)： 全反射蛍光X線分析