抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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RFジェネレータは,半導体・液晶・太陽光パネル製造におけるプラズマ発生用電源として使用されています。近年の製造装置において,パネルやウエハの大型化に伴う電源の大容量化の傾向がありますが,省スペース化と設備投資の低減から,RFジェネレータの小型軽量・低価格・AC400V入力が要求されています。2010年No.1号で紹介したD級13.56MHz 15kWジェネレータの設計コンセプトを継承して13.56MHz 25kWジェネレータを開発・製品化しました。従来機は,DC部とRF部が別ユニットの構成でありますが,新型D級アンプ搭載・AC400V入力に伴う部品の簡素化により,DC部とRF部を一体化し,小型軽量と低価格化を実現しました。(著者抄録)
