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J-GLOBAL ID：201002280466149743   整理番号：10A0695277

疎水-疎油性FAS/TEOS系シリカ反射防止膜の合成と特性解析

Synthesis and Characterization of Hydro-oleophobic FAS/TEOS Based Silica Antireflective Films

著者 (5件)： YAN Lianghong (China Acad. Engineering Physical, Mianyang, CHN) ,  LV Haibing (China Acad. Engineering Physical, Mianyang, CHN) ,  ZHAO Songnan (China Acad. Engineering Physical, Mianyang, CHN) ,  YUAN Xiaodong (China Acad. Engineering Physical, Mianyang, CHN) ,  LI Xibing (China Acad. Engineering Physical, Mianyang, CHN)
資料名： Journal of Advanced Materials (Covina)  (Journal of Advanced Materials (Covina))
巻： 42  号： 3  ページ： 20-24  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： D0972A  ISSN： 1070-9789  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゾル-ゲル法による慣性核融合用反射防止(AR)膜の開発を目的とする,ゾル-ゲル処理の共前駆体としてFAS(フルオロアルキルシラン)を用いる疎水-疎油性シリカAR膜の調製と特性解析を報告した。FASを0~0.3モル比で配合したTEOSの水添加エタノール溶液(10日間熟成)にK9光学ガラス基板を浸漬,引上げ後,室温乾燥,ついで熱処理(100°C),剥離する方法で膜試料を調製した。座滴法によって室温で接触角を測定し(湿潤液:蒸留水,落花生油),反射赤外分光で化学組成を調べた。紫外-可視分光計を用いて,350~1100nm波長領域の透過スペクトルを測定し,膜の透過率をK9ガラスと比較した。FASの添加によって,水及び油接触角はそれぞれ30°から135°に,また15°から93°に増大すること,1100cm^-1にC-F結合による吸収が出現し,表面のHからSi-OH基への置換が示唆されること,これらの膜は疎水-疎油性であるだけでなく,反射防止性でもあり,最高99.5%の光透過率を有することなどが分かった。

シソーラス用語： *反射防止膜 ,  *疎水性 ,  *親水性 ,  前駆体 ,  シラン ,  フッ素化合物 ,  添加物効果 ,  *ゾル-ゲル法 ,  *光学ガラス ,  浸漬 ,  熱処理 ,  *接触角 ,  蒸留水 ,  落花生油 ,  化学組成 ,  赤外反射吸収分光法 ,  透過率 ,  光吸収スペクトル ,  慣性核融合 ,  脂肪族アルコール ,  無機酸エステル ,  *二酸化ケイ素

分類 (4件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  核融合装置  (BJ02083Z)

物質索引 (1件)： TEOS

タイトルに関連する用語 (6件)： 疎油性 ,  Fas ,  TEOS ,  シリカ ,  反射防止膜 ,  特性解析