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J-GLOBAL ID：201002280876993991   整理番号：10A0076177

ゾル-ゲル由来SiOC薄膜の白色ルミネセンス

White Luminescence from Sol-Gel-Derived SiOC Thin Films

著者 (4件)： KARAKUSCU Aylin (Univ. Trento, Trento, ITA) ,  GUIDER Romain (Univ. Trento, Trento, ITA) ,  PAVESI Lorenzo (Univ. Trento, Trento, ITA) ,  SORARU Gian D. (Univ. Trento, Trento, ITA)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 92  号： 12  ページ： 2969-2974  発行年： 2009年12月 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリー由来の前駆体から熱分解によりSiOC薄膜を合成し,光学特性を調べた。熱分解温度は800~1250°Cとし,トリエトキシシランとメチルジエトキシシランとの組成比を変えてC過剰,化学量論組成及びSi過剰SiOC膜を作製した。Arレーザー(365nm)を励起源としてフォトルミネッセンス(PL)を測定した。化学量論組成SiOC薄膜は,低い熱分解温度でUV-青発光を示し,高い熱分解温度では緑-黄色発光を示し,外部量子効率は0.5%であった。Si過剰SiOC薄膜は430~900nmで幅広い白色発光を示し,外部量子効率は11.5%を示した。C過剰SiOC薄膜はカーボンクラスタによる吸収のため顕著な発光を示さなかった。

シソーラス用語： *ケイ素化合物 ,  *酸化物 ,  *炭化物 ,  *光ルミネセンス ,  重合体 ,  熱分解 ,  薄膜 ,  スピンコーティング ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  発光ダイオード ,  二酸化ケイ素 ,  *シリコンオキシカーバイド ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： シリカ ,  *オキシ炭化ケイ素 ,  ケイ素基板

分類 (3件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  発光素子  (NC03082G)

物質索引 (2件)： トリエトキシシラン ,  メチルジエチルシラン

タイトルに関連する用語 (4件)： ゾル-ゲル ,  薄膜 ,  白色 ,  ルミネセンス