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J-GLOBAL ID：201002280904866984   整理番号：10A0450665

二重半球分析器に基づく分光顕微鏡を用いる高い横方向及びエネルギー分解能の画像化XPSの応用

Applications of high lateral and energy resolution imaging XPS with a double hemispherical analyser based spectromicroscope

著者 (4件)： ESCHER M. (Focus Gmbh, 65510 Huenstetten, DEU) ,  WINKLER K. (Omicron Nanotechnology GmbH, 65232 Taunusstein, DEU) ,  RENAULT O. (CEA, LETI, MINATEC, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 09, FRA) ,  BARRETT N. (DSM/IRAMIS/SPCSI, CEA-Saclay, 91191 Gif sur Yvette Cedex, FRA)
資料名： Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena  (Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)
巻： 178-179  ページ： 303-316  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： D0266C  ISSN： 0368-2048  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 画像化X線光電子分光法(XPS)のための測定器の設計と応用を概観する。測定器は光電子顕微鏡と,対称な形状が一般的分析器に内在する球面収差(α²項)を防止する,二重半球分析器に基づく。分析器は,測定器の横方向及びエネルギー分解能を犠牲にすることなく,高透過率の画像化を可能にする。高透過率の重要性を,就中単色化実験室X線源を用いる最高分解能画像化XPSについて略述し,エネルギー分解能,横方向分解能及び分析器透過率の密な相互関係を説明する。単色実験室Al Kα源を用いる化学画像化応用を,610nmの横方向分解能と共に示す。シンクロトロン及び実験室極端紫外光を用いて測定を行った。その例は化学シフト同定を用いる内殻準位電子の画像化,高分解能閾値光電子放出顕微鏡法(PEEM),仕事関数画像化及びバンド構造画像化からの,広い応用分野を示す。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 可視化 ,  *画像 ,  *X線光電子分光法 ,  分析機器 ,  半球 ,  スペクトロスコピー ,  *顕微鏡 ,  横方向 ,  エネルギー分解能 ,  設計 ,  利用 ,  光電子 ,  球面収差 ,  透過率 ,  X線源 ,  極端紫外線 ,  内殻準位 ,  電子 ,  光電子放出 ,  仕事関数 ,  バンド構造
準シソーラス用語： 応用

分類 (2件)： 電子分光法  (BK01050P) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (9件)： 半球 ,  分析器 ,  分光 ,  顕微鏡 ,  横方向 ,  エネルギー分解能 ,  画像化 ,  XPS ,  応用