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J-GLOBAL ID:201002280918706300   整理番号:10A1080334

大気圧プラズマ重合を用いる有機薄膜の合成とキャラクタリゼーション

Synthesis and Characterization of Organic Thin Film Using Atmospheric-Pressure Plasma Polymerization
著者 (7件):
資料名:
巻: 22  号:ページ: 337-345  発行年: 2010年 
JST資料番号: L0338A  ISSN: 0914-4935  CODEN: SENMER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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実験室作製トーチ型大気圧プラズマ重合(APPP)装置を用いAPPPで大気圧において基板に重合体薄膜を調製する新しい方法を開発した。モデル単量体としてアリルアミンとアクリル酸を用い,重合条件を最適化し調製された薄膜を評価した。APPP膜をFourier変換赤外分光分析(FT-IR),接触角測定,原子間力顕微鏡(AFM),エリプソメータ,X線光電子分光法(XPS),蒸着速度測定および持続性測定でキャラクタリゼーションした。APPPアリルアミンとアクリル酸膜の性質が超高周波数パワーの重合パラメータを調整することで制御されることを結果は示した。(翻訳著者抄録)
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分類 (3件):
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単独重合  ,  有機化合物の薄膜  ,  固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (26件):
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タイトルに関連する用語 (4件):
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