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J-GLOBAL ID：201002281038392800   整理番号：10A1607557

集束イオンビームを用いた3次元構造解析

著者 (1件)： 藤井利昭 (エスアイアイ・ナノテクノロジー)
資料名： 先端加工技術
号： 82  ページ： 7-9  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： L0882A  ISSN： 0914-8698  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 集束イオンビーム(FIB)技術を用いて開発した,高分解能観察試料作製用装置およびメゾスケール3次元構造観察解析用装置を紹介した。まず,高品位の透過型電子顕微鏡(TEM)観察を行うためのトリプルビーム装置を紹介した。これは,FIB,電子ビーム,低エネルギーアルゴンイオンビーム(ArB)を試料表面に照射することで,SEM観察,加工位置の決定,損傷部分のエッチングを行うことができる。次いで,FIBとSEMを直角配置した新しいメゾスケール3次元構造観察解析用FIB-SEM複合装置を紹介した。この装置を用いて,Ti-No合金のオメガ相,燃料電池電極,NdFeB磁石のNdリッチ領域,およびマウス小脳の3次元構造を観察した。

シソーラス用語： *構造解析 ,  *集束イオンビーム ,  透過型電子顕微鏡 ,  中規模 ,  構造 ,  電子顕微鏡観察 ,  エッチング ,  断面 ,  精密加工 ,  半導体素子
準シソーラス用語： TEM【顕微鏡】 ,  メゾスケール ,  高精度加工 ,  三次元構造 ,  走査電子顕微鏡観察 ,  半導体デバイス

分類 (2件)： 電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (4件)：

• Nikawa, et al、1989 IRPS
• 鈴木、電子材料 2007年3月号、pp. 75-78、2007
• 岩崎他、第51回応用物理学会学術講演会講演予稿集、p509、1990
• 江村他、日本顕微鏡学会第34回関東支部講演会、2010年3月

タイトルに関連する用語 (3件)： 集束イオンビーム ,  3次元構造 ,  解析