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J-GLOBAL ID：201002281393553458   整理番号：10A0951937

Au薄膜のディウェッティングによる微細組織の変化

Microstructure evolution during dewetting in thin Au films

著者 (2件)： MUELLER Claudia Manuela (Lab. for Nanometallurgy, Dep. of Materials, ETH Zurich, Wolfgang-Pauli-Strasse 10, 8093 Zurich, CHE) ,  SPOLENAK Ralph (Lab. for Nanometallurgy, Dep. of Materials, ETH Zurich, Wolfgang-Pauli-Strasse 10, 8093 Zurich, CHE)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 58  号： 18  ページ： 6035-6045  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属薄膜はディウェッティングと呼ばれる過程で粒子に崩壊する。ディウェッティングは,空隙発生及び空隙結合を含む幾つかの段階で進行する。Au薄膜中の枝分かれした空隙の成長を電子線後方散乱回折法(EBSD)によって検討した。孔が大部分は高傾角結晶粒界で被膜中に突出ることがわかった。また,孔の枝分かれした形状は空隙境界の結晶粒の表面エネルギー最少化によって説明できる。ディウェッティングの間に(111)集合組織が先鋭化することが観察されたが,これはEBSD及び同時X線調査によって定量化した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *金 ,  *金属薄膜 ,  *金属組織 ,  粒子 ,  枝分れ ,  高傾角粒界 ,  結晶粒 ,  集合組織 ,  間隙 ,  焼なまし ,  濡れ
準シソーラス用語： ディウェッティング

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： Au ,  薄膜 ,  ディウェッティング ,  微細組織