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J-GLOBAL ID：201002281731155463   整理番号：10A0821900

表面に垂直な層を持つ試料に対するAuger強度対ビーム位置の計算

Calculations of Auger intensity versus beam position for a sample with layers perpendicular to its surface

著者 (2件)： ZOMMER L (Inst. of Physical Chemistry, Polish Acad. of Sci., Warsaw, POL) ,  JABLONSKI A (Inst. of Physical Chemistry, Polish Acad. of Sci., Warsaw, POL)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 43  号： 27  ページ： 275301,1-7  発行年： 2010年07月14日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近のナノテクノロジーの発展により,走査型電子顕微鏡あるいは走査型Auger顕微鏡(SAM)などのような最新分析技術における横方向の分解能は著しく改善されている。本研究では,Senonerら(2004 Surf. Interface Anal. 36 1423)によって最近研究された横方向分解能を検証するために,表面に垂直な多重層を持つ特別な試料を対象とした,Auger電流強度対ビーム位置の計算をモンテカルロシミュレーションを用いて行った。対象試料が含む層物質として,高・中間・低原子番号を持つ基本的な固体,すなわち,Au|Cu|AuとAu|Si|Auを選択した。その結果,著しく異なる原子番号を持つ原子からなる層を持つ系に対しては,Auger電流対ビーム位置の関係は,予想外に極端なものになりうることを見いだした。この発見は,特にSAM像の解析において重要となる。

シソーラス用語： *Auger効果 ,  *表面 ,  *配列 ,  電子ビーム走査 ,  ナノテクノロジー ,  走査電子顕微鏡 ,  分解能 ,  多層 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： *垂直配列 ,  走査型電子顕微鏡 ,  多重層 ,  モンテカルロシミュレーション

分類 (2件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  Auger電子放出,二次電子放出  (BM09040O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 試料 ,  ビーム ,  計算