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J-GLOBAL ID：201002281865355698   整理番号：10A1542838

ZrO/W(100) Schottky陰極についての電場誘導される形状及び仕事関数の変化

Field induced shape and work function modification for the ZrO/W(100) Schottky cathode

著者 (4件)： LIU K. (FEI Co., Hillsboro, Oregon 97128) ,  SCHWIND G. A. (FEI Co., Hillsboro, Oregon 97128) ,  SWANSON L. W. (FEI Co., Hillsboro, Oregon 97128) ,  CAMPBELL J. A. (FEI Co., Hillsboro, Oregon 97128)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 28  号： 6  ページ： C6C26  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZrO/W(100) Schottky陰極について,引出し極電圧の変化の後しばしば観測される,長期と短期の電流ドリフトの起源を研究した。陰極末端形の平衡仕事関数及び形状における可逆的な電場依存変化が,1800Kの典型的作動温度において起ることを見いだした。形状変化は三つの別な幾何学的末端形の形状に帰着する。これらの末端形は以前に観測された[L. W. Swanson and G. A. Schwind, in Handbook of Charged Particle Optics, 2nd ed. edited by J. Orloff (CRC, New York 2008), Chap. 1, p. 1; S.Fujita, T.R.Wells, W.Ushio, H.Sato, and M.M.El-Gomati, J. Micros. 235, 215 (2010); M.S.Bronsgeest and P.Kruit, J. Vac. Sci. Technol. B 27, 2524 (2009)]とはいえ,この研究の目的は,これらの変化が起る作動条件及び結合する放出特性における変化を解明することである。半径範囲200~900nmにおけるエミッタを,大抵の電子プローブ形成システムで用いる,代表的電流密度作動領域にわたって調べた。仕事関数と電場の間の相関を見いだした。それはエミッタの高電場領域における,それによって仕事関数の変化を引き起こす,ZrO平衡被覆率の可逆な電場誘導変化によって,説明することができる。これらの1800Kにおける平衡仕事関数及びエミッタ形状の電場誘導変化は,引出し極電圧の変化の後に観測される,短期と長期のドリフトを説明すると思われる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 酸化ジルコニウム ,  タングステン ,  *カソード ,  電流 ,  ドリフト ,  経時変化 ,  *電場効果 ,  電圧 ,  仕事関数 ,  形態 ,  温度 ,  電子放出 ,  電子プローブ ,  電流密度 ,  電場 ,  相関
準シソーラス用語： 陰極 ,  形状

分類 (1件)： 電子源,イオン源  (BD02020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 陰極 ,  電場 ,  誘導 ,  仕事関数