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J-GLOBAL ID：201002281866274632   整理番号：10A1109461

分裂HOLZ線パターンを用いたSiGe/Si界面近くのSi基板格子の曲げと膨張の自動化キャラクタリゼーション

Automated characterization of bending and expansion of a lattice of a Si substrate near a SiGe/Si interface by using split HOLZ line patterns

著者 (4件)： SAITOH Koh (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YASUDA Yoshifumi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HAMABE Maiko (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TANAKA Nobuo (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Journal of Electron Microscopy  (Journal of Electron Microscopy)
巻： 59  号： 5  ページ： 367-378  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： W1384A  ISSN： 0022-0744  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 収束電子ビーム回折(CBED)透過ディスクにおいて観察したHOLZ線パターンを用いて曲げ歪場を特性評価する格子パラメータとベクトルを決定するための高速で簡単な方法を提案した。この方法はHOLZ線ロッキングカーブの詳細特徴を使用せず,分裂HOLZ線の二つの主ピーク間の距離を使用する。この方法の長所の一つは,実験とシミュレーションパターンの不一致を,多数の分裂HOLZ線からなる複雑なHOLZ線パターンでも,実験とシミュレーションHoughピーク間の距離の平方和である誤差関数χ²によって容易に評価できる点にある。

シソーラス用語： 半導体材料 ,  *ケイ素 ,  界面 ,  ウエハ【IC】 ,  *結晶格子 ,  曲げ ,  膨張 ,  自動化 ,  キャラクタリゼーション ,  収束電子回折 ,  透過 ,  円板 ,  歪場 ,  格子定数 ,  ベクトル ,  ロッキングカーブ ,  距離 ,  誤差関数
準シソーラス用語： HOLZ ,  SiGe ,  Si基板 ,  回折パターン

分類 (1件)： 構造決定法・回折結晶学一般  (BK01010X)

タイトルに関連する用語 (10件)： HOLZ ,  SiGe ,  Si ,  界面 ,  Si基板 ,  格子 ,  曲げ ,  膨張 ,  自動化 ,  キャラクタリゼーション