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J-GLOBAL ID:201002282034964627   整理番号:10A1324588

小運動計測装置用の位置有感検出器の線形方程式の決定

Determination of the linear equations of position-sensing detectors for small motion measurement systems
著者 (2件):
資料名:
巻: 27  号: 11  ページ: 2480  発行年: 2010年11月 
JST資料番号: C0327B  ISSN: 1084-7529  CODEN: JOAOD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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小運動計測装置は小さな位置/角運動を測定するために工業分野で広く用いられている。これらの装置は通常,計測器と参照装置の二部分からなる。位置有感検出器(PSD)は測計測器又は参照装置の何れかに埋込まれ,何らかの小さな位置/角運動が存在するときのレーザビームの入射点の変化を検知する。これらの装置を用いるためには,自由度6の小さな位置/角運動とPSD読取値を関係付ける線形方程式を決める必要がある。本論文の目的は近軸光線追跡法に基づいてこれらの方程式を導くことである。二種類の計測装置を例に用いて,提案した計測法を検証した。本研究の計測法はPSDに基づく計測装置のシステム設計及びそれらの応用に有用である。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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