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J-GLOBAL ID：201002282180709256   整理番号：10A0658574

インクジェットプリンタによる表面固定ATRP開始剤のパタ-ニング

Patterning of a Surface Immobilized ATRP Initiator with an Inkjet Printer

著者 (7件)： EMMERLING Sebastian G. J. (Max Planck Inst. for Polymer Res., Mainz, DEU) ,  EMMERLING Sebastian G. J. (Johannes Gutenberg Univ. Mainz, Mainz, DEU) ,  LANGER Laura B. N. (Max Planck Inst. for Polymer Res., Mainz, DEU) ,  PIHAN Sascha A. (Max Planck Inst. for Polymer Res., Mainz, DEU) ,  LELLIG Philipp (Max Planck Inst. for Polymer Res., Mainz, DEU) ,  LELLIG Philipp (Johannes Gutenberg Univ. Mainz, Mainz, DEU) ,  GUTMANN Jochen S. (Johannes Gutenberg Univ. Mainz, Mainz, DEU)
資料名： Macromolecules  (Macromolecules)
巻： 43  号： 11  ページ： 5033-5042  発行年： 2010年06月08日 
JST資料番号： B0952A  ISSN： 0024-9297  CODEN： MAMOBX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ケイ素/シラン化学及びインクジェット技術を用いたパターン形成について検討した。2種類の表面固定ATRP開始剤,4-(クロロジメチルシリル)-2-メチルブタン-2-イル 2-ブロモ-2-メチルプロパノエート(1)及び3-(クロロジメチルシリル)プロピル 2-ブロモ-2-メチルプロパノエート(2)を合成した。シリコンウエハ表面に溶液法により,開始剤を固定した。開始剤固定シリコンウエハ上にインクジェットプリンタによりHClあるいはH₂SO₄をパタ-ン滴下した。メタクリル酸メチル(MMA)の表面固定原子移動ラジカル重合(SI-ATRP)を,パターン化シリコンウエハを,アニソール/MMA/CuBr/ペンタメチルジエチレントリアミン(PMDETA)/2-EiBBrに浸漬することにより行った。パターン化PMMAブラシの厚みを撮像エリプソメータにより計測した。酸濃度及び接触時間を変えることにより,パタ-ン化PMMAブラシの厚み制御ができることが分かった。ケイ素化合物SI-ATRP開始剤及びインクジェットプリンティング手法の組合せにより,新規パターン形成法を確立した。

シソーラス用語： ケイ素 ,  シラン ,  ウエハ【IC】 ,  固定 ,  加水分解 ,  *原子移動ラジカル重合 ,  エリプソメータ ,  撮像 ,  *インクジェット印刷 ,  ジェットプリンタ ,  *パターン形成 ,  重合開始剤 ,  *ポリメタクリル酸メチル ,  高分子ブラシ ,  厚み制御 ,  脂肪族カルボン酸 ,  オレフィン化合物 ,  不飽和カルボン酸 ,  カルボン酸エステル
準シソーラス用語： インクジェットプリンタ ,  シリコンウエハ ,  鹸化

分類 (2件)： 重合反応一般  (CG04010H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (4件)： PMDETA ,  メタクリル酸メチル ,  2-ブロモ-2-メチルプロピオン酸3-(クロロジメチルシリル)-1,1-ジメチルプロピル ,  2-ブロモ-3-メチルプロピオン酸3-(クロロジメチルシリル)プロピル

タイトルに関連する用語 (3件)： インクジェットプリンタ ,  ATRP ,  開始剤