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J-GLOBAL ID：201002282400445964   整理番号：10A0750244

マグネトロンスパッタしたニオブ上の熱的に時効したアノード膜の物理化学的キャラクタリゼーション

Physicochemical Characterization of Thermally Aged Anodic Films on Magnetron-Sputtered Niobium

著者 (4件)： LA MANTIA F. (Universita di Palermo, Palermo, ITA) ,  SANTAMARIA M. (Universita di Palermo, Palermo, ITA) ,  QUARTO F. Di (Universita di Palermo, Palermo, ITA) ,  HABAZAKI H. (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 157  号： 7  ページ： C258-C267  発行年： 2010年 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質の熱処理したアノードニオビア膜を光電流スペクトロスコピーと差分アドミッタンス測定によって詳細に調べた。アノードニオビアの固体状態及び電子特性に及ぼす時効条件の影響を,非晶質半導体の理論を基に説明した。

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  *ニオブ ,  *酸化ニオブ ,  *時効処理 ,  *アノード ,  *膜電極 ,  非晶質 ,  スペクトル ,  インピーダンススペクトル ,  非晶質半導体 ,  電気化学インピーダンス
準シソーラス用語： アドミタンス ,  光電流スペクトル

分類 (2件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  電極過程  (CB07040U)

タイトルに関連する用語 (5件)： マグネトロンスパッタ ,  ニオブ ,  時効 ,  アノード ,  キャラクタリゼーション