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J-GLOBAL ID：201002282813663595   整理番号：10A1605900

エレクトロマイグレーションによるスプリット型アルミマイクロチューブの創製

Fabrication of Al Split Micro-tubes by Electromigration

著者 (2件)： LU Yebo (Tohoku Univ., Sendai) ,  SAKA Masumi (Tohoku Univ., Sendai)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集  (日本機械学会年次大会)
巻： 2010  号： Vol.8  ページ： 171-172  発行年： 2010年09月04日 
JST資料番号： X0587B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エレクトロマイグレーションを利用し,保護膜被覆型Al薄膜上にスプリット型アルミマイクロチューブを創製する方法を開発した。陽極側の端部にスリットと集束イオンビーム装置により設けた原子排出孔を有するAl多結晶配線を作製し,直流電流を付与することにより圧縮応力が発生し,原子の蓄積を引き起こした。通電時間の増加に伴い,圧縮応力の開放と共にスプリット型アルミマイクロボールは成長した。成長過程において原子排出孔の根本が重要な役割を担い,Al/TiN界面が圧縮応力の開放に効果的であることを発見した。(著者抄録)

シソーラス用語： 集束イオンビーム ,  アルミニウム ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  界面 ,  直流 ,  圧縮応力 ,  *エレクトロマイグレーション ,  *管 ,  *微細構造 ,  球
準シソーラス用語： TiN ,  ボール ,  *マイクロチューブ ,  マイクロボール ,  固固界面 ,  直流電流

分類 (2件)： 金属の表面構造  (BK15020P) ,  固-固界面  (CB12060M)

タイトルに関連する用語 (4件)： エレクトロマイグレーション ,  アルミ ,  マイクロチューブ ,  創製