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J-GLOBAL ID:201002283269443590   整理番号:10A1529476

マグネシウムの航空宇宙とバイオメディカル微細加工への応用のための新しい光化学マシーニングプロセス

A novel photochemical machining process for magnesium aerospace and biomedical microengineering applications
著者 (3件):
資料名:
巻: 20  号: 10  ページ: 105010,1-8  発行年: 2010年10月 
JST資料番号: W1424A  ISSN: 0960-1317  CODEN: JMMIEZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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マグネシウムは,最軽量の金属であり,航空機に使用することにより大幅な燃料節約ができる。さらに,最近,この材料が生体分解性があるため生体分解性ステントとしての利用が期待されている。本稿では,このような用途に使用するため,0.25mm厚みのマグネシウム箔で0.15mm幅の加工が可能になる新しい光化学マシーニング(PCM)法について報告した。薄いマグネシウム箔とAZ31B箔を資料とし,10% HNO3エッチャントを使い,温度制御した条件でエッチングを行った結果,エッチング速度はそれぞれ3.04μm-1と2.46μm-1であった。Hydro-Solveが最も適したフォトレジストであった。
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  製剤一般 

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