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J-GLOBAL ID：201002283379024593   整理番号：10A0822218

光及び熱還元法で製作した1,2,及び3Dミクロ構造中での銀ナノ粒子のパターン形成

Pattern Formation of Silver Nanoparticles in 1-, 2-, and 3D Microstructures Fabricated by a Photo- and Thermal Reduction Method

著者 (13件)： PARK Jong-Jin (Samsung Advanced Inst. of Technol., Gyeonggi-Do, KOR) ,  BULLIARD Xavier (Samsung Advanced Inst. of Technol., Gyeonggi-Do, KOR) ,  LEE Ji Min (Samsung Advanced Inst. of Technol., Gyeonggi-Do, KOR) ,  HUR Jaehyun (Samsung Advanced Inst. of Technol., Gyeonggi-Do, KOR) ,  IM Kyuhyun (Samsung Advanced Inst. of Technol., Gyeonggi-Do, KOR) ,  KIM Jong-Min (Samsung Advanced Inst. of Technol., Gyeonggi-Do, KOR) ,  PRABHAKARAN Prem (Hannam Univ., Daejeon, KOR) ,  CHO Namchul (Hannam Univ., Daejeon, KOR) ,  LEE Kwang-Sup (Hannam Univ., Daejeon, KOR) ,  MIN Sung-Yong (Pohang Univ. Sci. and Technol., Gyeongbuk, KOR) ,  LEE Tae-Woo (Pohang Univ. Sci. and Technol., Gyeongbuk, KOR) ,  YONG Son (KAIST, Daejon, KOR) ,  YANG Dong-Yol (KAIST, Daejon, KOR)
資料名： Advanced Functional Materials  (Advanced Functional Materials)
巻： 20  号： 14  ページ： 2296-2302  発行年： 2010年07月23日 
JST資料番号： W1336A  ISSN： 1616-301X  CODEN： AFMDC6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 感光性ナノ粒子(NP)前駆体含有感光性ポリマの光及び熱処理による,ポリマ母材中に金属NPが微細分散した系から成る複雑な2D又は3D構造の製作を報告した。SU-8エポキシ樹脂,光酸発生剤,及びトリフルオロ酢酸銀(STA)の混合物をSiウエハ表面にスピンコート,フォトマスクを通して紫外線硬化ついで後硬化後,γ-ブチロラクトン中で2Dパターンを現象して2Dミクロ構造を調製した。また,二光子リソグラフィーによって3Dパターンをもつ3Dミクロ構造を作製した。ミクロ構造及び溶液中での銀NPの分散と形状をSEM観察で調べ,TEM画像から表面構造と銀NPの粒径分布を測定した。紫外-可視分光によって光誘起還元前後の構造変化を調べ,FTIRも測定した。なお,ポリマ母材中の銀含有量は熱重量分析で測定し,また三次元パターン中の銀をEDXで確認した。本報告の方法によって照射面積に関係なくNPの均一分布をもつ高分解能1,2及び3Dパターンを創製できることが分かった。

シソーラス用語： *銀 ,  *ナノ粒子 ,  *パターン形成 ,  *微細構造 ,  エポキシ樹脂 ,  フォトレジスト ,  光酸発生剤 ,  前駆体 ,  ウエハ【IC】 ,  スピンコーティング ,  フォトマスク ,  光架橋 ,  *光還元 ,  熱処理 ,  フォトリソグラフィー ,  形態 ,  粒度分布 ,  *表面構造 ,  空間分布 ,  含有量 ,  熱伝導 ,  一次元 ,  二次元 ,  三次元
準シソーラス用語： *ミクロ構造 ,  二光子リソグラフィー

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  金属の結晶成長  (BK13030M)

物質索引 (1件)： トリフルオロ酢酸銀(I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 熱還元 ,  製作 ,  3D ,  ミクロ構造 ,  銀ナノ粒子 ,  パターン形成