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J-GLOBAL ID：201002283517193849   整理番号：10A0291669

統合真空ツールを用いたハイブリッド・タイプ静電気駆動のマイクログリッパ

A hybrid-type electrostatically driven microgripper with an integrated vacuum tool

著者 (5件)： CHEN Tao (Robotics and Microsystems Center, Soochow Univ., Suzhou 215021, CHN) ,  SUN Lining (State Key Lab. of Robotics and System, Robotics Inst., Harbin Inst. of Technol., Harbin 150080, CHN) ,  CHEN Liguo (State Key Lab. of Robotics and System, Robotics Inst., Harbin Inst. of Technol., Harbin 150080, CHN) ,  RONG Weibin (State Key Lab. of Robotics and System, Robotics Inst., Harbin Inst. of Technol., Harbin 150080, CHN) ,  LI Xinxin (State Key Lab of Transducer Technol., Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of ...)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 158  号： 2  ページ： 320-327  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小物体の高信頼性で正確なピックアンドレリースはマイクロスケールの操作体での長年の挑戦である。本稿は,微小物体の高信頼性で正確な操作を達成するために静電気機構および真空技術を統合した新しいハイブリッドタイプの微小電気機械システム(MEMS)マイクログリッパを示す。表面とバルクマイクロマシニングの技術によりマイクログリッパを作製する。接合する技術により真空配管系を構築する。微小物体のピックアンドレリースの極微操作は,コーム構造および空気ポンプからの補助の気圧力によってもたらされた静電気駆動力により達成される。80Vの印加電圧でグリッパのチップで,25μmの変形を達成する。実験的に,100~200μmポリスチレン・ボールの操作を介して,マイクログリッパのこの新しいハイブリッド・タイプの性能を例証した。実験結果は,このマイクログリッパが成功裡にピックおよび解放顕微操作を完了できることを示す。レリース原理について,より総合的に理解するために理論的解析を行なった。本稿に基づいて,新しい種類のハイブリッド・マイクログリッパは,恐らくサブミクロンサイズの物体操作への効果的な解を提供する。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *つかみ装置 ,  ハイブリッド系 ,  *静電気応用 ,  マイクロマシニング ,  *MEMS ,  配管システム ,  気圧変動
準シソーラス用語： *グリッパ ,  配管系 ,  気圧変化

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 統合 ,  真空 ,  ツール ,  タイプ ,  静電気 ,  マイクログリッパ