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J-GLOBAL ID:201002283705050591   整理番号:10A0700347

水素-末端を有するシリコン上の有機単分子膜の長期安定性と電気特性

Long-Term Stability and Electrical Performance of Organic Monolayers on Hydrogen-Terminated Silicon
著者 (3件):
資料名:
巻: 114  号: 24  ページ: 10866-10872  発行年: 2010年06月24日 
JST資料番号: W1877A  ISSN: 1932-7447  CODEN: JPCCCK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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n-型シリコン(111)に共有結合を介して結合した2種類の有機単分子層,C<sub>6</sub>H<sub>5</sub>(CH<sub>2</sub>)<sub>3</sub>-Si≡(C<sub>3</sub>Ph-Si≡)とCH<sub>3</sub>(CH<sub>2</sub>)<sub>11</sub>-Si≡(C<sub>12</sub>-Si≡)の酸化に対する経時的安定性について研究した。このようにして形成された水銀|単分子層|n-Si接合の電気的性能とこの長期安定性の間の相関を調べた。単分子膜によって修飾されたシリコンを空気中で放置すると,物理吸着した酸素(O<sub>ad</sub>)とシリコンに結合した酸素含有種(SiO<sub>x</sub>)に対応する高分解能XPS分析によるO<sub>1s</sub>ピーク強度が経時的に増加したが,炭素含有量(C<sub>1s</sub>ピーク)は一定であった。エージングとともに<Hg|C<sub>12</sub>-Si≡>と<Hg|C<sub>3</sub>Ph-Si≡>での電流は著しく増加し,その傾向は前者の方が大きい。O<sub>1s</sub>(O-Si)/Si<sub>2p</sub>ピーク面積比にもとづく酸素含有率は前者の方が少ない。以上の結果から,分子ダイオード接合の電気特性が修飾されたシリコンの酸化によって制御できることが示唆される。
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分類 (1件):
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金属-絶縁体-半導体構造 
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