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J-GLOBAL ID：201002283778868525   整理番号：10A0676687

Aurivillius型Bi₂MO₆(M=W,Mo)酸化物膜に基づく湿度センサ

Humidity sensors based on Aurivillius type Bi₂MO₆ (M=W, Mo) oxide films

著者 (6件)： ZHENG Kaibo (Dep. of Materials Sci., Fudan Univ., 220, Handan Rd., Shanghai 200433, CHN) ,  ZHOU Ying (Inst. of Inorganic Chemistry, Univ. of Zurich, CH-8057, CHE) ,  GU Leilei (Dep. of Materials Sci., Fudan Univ., 220, Handan Rd., Shanghai 200433, CHN) ,  MO Xiaoliang (Dep. of Materials Sci., Fudan Univ., 220, Handan Rd., Shanghai 200433, CHN) ,  PATZKE Greta. R. (Inst. of Inorganic Chemistry, Univ. of Zurich, CH-8057, CHE) ,  CHEN Guorong (Dep. of Materials Sci., Fudan Univ., 220, Handan Rd., Shanghai 200433, CHN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 148  号： 1  ページ： 240-246  発行年： 2010年06月30日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Aurivillius型Bi₂MO₆(M=W又はMo)材料に基づく湿度センサを”ドクターブレード”方式で製作した。製作膜の構造及びモルフォロジーをX線回折(XRD)及び走査型電子顕微鏡(SEM)で特性解析した。感知特性をインピーダンス及びキャパシタンス特性で調べた。湿度感知テストでは,相対湿度(RH)の11%から95%への増加に対して4~5桁の大きさのインピーダンス変化を示し,Bi₂MO₆が超高感度であることを示した。さらに,Bi₂MO₆材料は迅速な応答及び回復も示し,然も再現性も優れていた。Bi₂WO₆試料の感知特性は,表面/体積比がより大きいこと及び親水性の程度の違いからBi₂MoO₆材料のものよりも優れていた。さらに,センサを形作るBi₂MO₆の感知機構を論述した。これらの結果でAurivillius型酸化物にとって高感度環境モニタリング及び湿度コントロールに向けた電子素子として将来性のある用途への道が開けたことを示した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *湿度センサ ,  *ビスマス化合物 ,  *タングステン酸塩 ,  *モリブデン酸塩 ,  *ペロブスカイト型結晶 ,  酸化物 ,  相 ,  層状化合物 ,  インピーダンス ,  静電容量 ,  依存性 ,  高感度 ,  応答時間 ,  回復 ,  鋳込成形 ,  *セラミック膜 ,  ドクタ ,  相対湿度
準シソーラス用語： Aurivillius相

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： Aurivillius ,  Mo ,  酸化物膜 ,  湿度センサ