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J-GLOBAL ID：201002283848544676   整理番号：10A1124811

パルス変調アルゴン大気圧誘導結合マイクロプラズマジェットの光学的及び電気的特性化

Optical and electrical characterization of pulse-modulated argon atmospheric-pressure inductively coupled microplasma jets

著者 (5件)： TAJIMA Satomi (Dep. of Bioengineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 2-11-16 Yayoi, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656 ...) ,  MATSUMORI Masashi (Panasonic Factory Solutions Co., Ltd., 2-7 Matsuba-cho, Kadoma-city, Osaka 571-8502, JPN) ,  NAKATSUKA Shigeki (Panasonic Factory Solutions Co., Ltd., 2-7 Matsuba-cho, Kadoma-city, Osaka 571-8502, JPN) ,  TSUCHIYA Shouichi (Dep. of Bioengineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 2-11-16 Yayoi, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656 ...) ,  ICHIKI Takanori (Dep. of Bioengineering, Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 2-11-16 Yayoi, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656 ...)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 108  号： 8  ページ： 083302  発行年： 2010年10月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パルス変調アルゴン大気圧誘導結合プラズマ(AP-ICP)マイクロジェットの発生を決める臨界パラメータをパワーP,パルス変調周波数f,デューティ比DRを変えて調べた。超高周波電源とRFサンプラによる整合ネットワークの間で監視した正味出力パワーP_netの時間変化とアンテナからのArI4s′[1/2]₁^O-4p′[1/2]₀放射を測定してこのプラズマの挙動を明らかにした。高密度(0.9~1.1×10¹⁵cm^-3)非平衡プラズマを生成するAP-ICPマイクロジェットは内径0.8mmのアルミナ放電管からなる。fを水平軸にDRを垂直軸に取り,Pを最大50Wまで変えて,パルス変調プラズマの発生ダイアグラムを作成した。f≦10kHzでは,プラズマはfとDRの直線の上で発生し,約80μsの臨界パワーオフ周期の存在を示した。f>10kHzでは,パルス変調プラズマは一定DRの上で生成され,fには殆ど依存しなかった。パルス変調プラズマを維持するには,時間平均パワーP(PとDRの積)は8~10W以上である必要がある。正味パワーとArI放射の時間変化を測定し,パルス変調プラズマの動的挙動を以下のように明らかにした。パワーオン後約5μs間破壊期が現れた。プラズマが一度発生すると,インピーダンスが変化し,反射パワーが徐々に低下した。破壊直後に強い放射ピークを観測し,定常状態まで徐々に増加した。最後に,パワーオン後0.8μsで強力なアフターピークを観測した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *パルス変調 ,  大気プラズマ ,  プラズマ ,  *プラズマジェット ,  誘導結合プラズマ
準シソーラス用語： マイクロプラズマ

分類 (1件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (7件)： パルス変調 ,  アルゴン ,  大気圧 ,  誘導結合 ,  マイクロプラズマジェット ,  光学 ,  電気的特性