文献

J-GLOBAL ID：201002283903739880   整理番号：10A0728301

入射角可変の分光オートコリメート式エリプソメータ

Variable angle of incidence spectroscopic autocollimating ellipsometer

著者 (2件)： WATKINS Lionel R. ,  SHAMAILOV Sophie S.
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 49  号： 16  ページ： 3231  発行年： 2010年06月01日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 任意の入射角で動作する分光オートコリメート式エリプソメータを提示した。試料に入射した直線偏光が反射によって円偏光となるように,再帰反射ビームを入力偏光状態と直交するように確保する。これを任意の入射角において実現するために,速波軸を水平に固定したSoleil-Babinet補償器(SBC)を導入した。SBCの遅延と入力直線偏光の方位角を変化させることで零位調整を行った。固定波長における単一較正式と補償器の複屈折に関する知識をもとに任意の波長における遅延を正確に計算した。厚い金膜について行った単一波長の可変入射角測定は,従来の零位法エリプソメータにより得た測定と良く一致した。シリコン基板上の二酸化ケイ素膜の固定入射角での分光測定は,零位法エリプソメータと市販の装置によって行った独立な測定と良く一致した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *偏光解析法 ,  *エリプソメータ ,  再帰反射 ,  偏光角 ,  補償板 ,  入射角 ,  角度依存性 ,  零位調整 ,  二酸化ケイ素 ,  金属薄膜 ,  誘電体薄膜 ,  金 ,  スペクトロスコピー ,  可変性
準シソーラス用語： 分光測定

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 入射角 ,  可変 ,  分光 ,  エリプソメータ