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J-GLOBAL ID:201002284126678992   整理番号:10A0942134

150°CでのEMPyrCl-ZnCl2溶融からのタングステン電着

Electrodeposition of Tungsten from EMPyrCl-ZnCl2 Melts at 150°C
著者 (6件):
資料名:
巻: 12  ページ: 94-98  発行年: 2010年07月 
JST資料番号: L6689A  ISSN: 1345-0700  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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新しい溶融塩(イオン液体)であるN-エチル-N-メチルピロリジニウムクロリド(EMPyrCl)-ZnCl2を用いて,タングステン電着は150°Cで達成できることを示した。この温度はこれまでの最低温度である。KFとWCl4を添加した後にニッケル基板上に金属タングステンを電着した。タングステンのイオン源としてWCl6を用いると,より濃密でなめらかなタングステン膜が得られた。
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