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J-GLOBAL ID：201002284223275819   整理番号：10A1114514

吸収性干渉上部層を持つ低反射率ワイヤグリッド偏光子

Low-reflective wire-grid polarizers with absorptive interference overlayers

著者 (7件)： SUZUKI Motofumi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TAKADA Akio (Sony Chemical & Information Device Corp., Miyagi, JPN) ,  YAMADA Takatoshi (Sony Chemical & Information Device Corp., Miyagi, JPN) ,  HAYASAKA Takashi (Sony Chemical & Information Device Corp., Miyagi, JPN) ,  SASAKI Kouji (Sony Chemical & Information Device Corp., Miyagi, JPN) ,  TAKAHASHI Eiji (Sony Chemical & Information Device Corp., Miyagi, JPN) ,  KUMAGAI Seiji (Sony Chemical & Information Device Corp., Miyagi, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7766  ページ： 776609.1-776609.9  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属用の二種類の反射防止膜を理路的に考察した。一方の膜は高屈折率の単層誘電材料からなり,他方は吸収材料と誘電材料の二層からなる。二層反射防止膜をAl製ワイヤグリッドに応用した。薄いSiO₂層を被覆したAlワイヤ上に,FeSi₂(吸収層)をすれすれ入射法により蒸着した。両膜厚の組合せを最適化して,偏光に無関係に反射率を<数%に抑えると共に,透過偏光特性を良好に保った。このワイヤグリッド偏光子は全てが無機材料で出来ているので,耐熱性を必要とする応用(液晶ディスプレイなど)に適する。

シソーラス用語： *偏光子 ,  *格子 ,  誘電材料 ,  多層膜 ,  *反射防止膜 ,  薄膜成長 ,  すれすれ入射 ,  反射率 ,  偏光性
準シソーラス用語： *ワイヤグリッド

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 干渉 ,  上部層 ,  反射率 ,  ワイヤグリッド偏光子