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J-GLOBAL ID：201002284272754935   整理番号：10A0486038

ナノインプリントされた表面の平坦化の離散化転位シミュレーション

Discrete dislocation simulations of the flattening of nanoimprinted surfaces

著者 (3件)： ZHANG Yunhe (Delft Univ. Technol., Delft, NLD) ,  VAN DER GIESSEN Erik (Univ. Groningen, Groningen, NLD) ,  NICOLA Lucia (Delft Univ. Technol., Delft, NLD)
資料名： Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering  (Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering)
巻： 18  号： 3  ページ： 034006,1-17  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： W0484A  ISSN： 0965-0393  CODEN： MSMEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 矩形波状の剛体型板をインプリントした無限長さの単結晶の2次元モデルを用いて,金属薄膜のナノインプリンティングによって得られた表面粗さの平坦化に対する離散化転位塑性シミュレーションを行なった。インデントの形状は主に転位密度によって決定した。インプリント間の金属表面は転位の活動性によって決定される。非摩擦および固着接触条件の両方を用いて,ナノインプリンティングによって得られる粗面を圧縮することによって薄膜の平坦化を行なった。荷重履歴は平坦化における変形と粗さに影響を与えた。固着接触は,より高い接触圧においても表面隆起の平坦化を導いた。

シソーラス用語： *押付成形 ,  *微細加工 ,  *表面 ,  *離散事象シミュレーション ,  *転位【結晶】 ,  *金属薄膜 ,  単結晶 ,  塑性 ,  付着 ,  摩擦 ,  荷重 ,  型 ,  表面粗さ ,  応力分布 ,  転位密度 ,  圧縮
準シソーラス用語： テンプレート【型】 ,  *ナノインプリント ,  固着 ,  *平坦化 ,  履歴

分類 (3件)： その他の物理的・機械的性質  (WB02040F) ,  金属の表面構造  (BK15020P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノインプリント ,  平坦化 ,  離散化 ,  転位 ,  シミュレーション