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J-GLOBAL ID：201002284416814563   整理番号：10A0176420

透明なpn接合を使用する,光支援のVOC検出

Photo-assisted VOC Detection by Transparent pn Junction

著者 (4件)： NAKAMURA Yoshinobu (Univ. Tokyo, Chiba, JPN) ,  MORITA Yusuke (Shonan Inst. Technol., Kanagawa, JPN) ,  YOSHIDA Yasuhiro (Shonan Inst. Technol., Kanagawa, JPN) ,  FUJITSU Satoru (Shonan Inst. Technol., Kanagawa, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 421/422  ページ： 348-351  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 成長されたままのZnOの多結晶に,RFマグネトロンスパッタリングでNiOを被覆して,透明なp-NiO/n-ZnOのpnヘテロ接合を作製した。これに,金属ニッケルを被覆し,さらに金を被覆して電極とした。この膜に,光リソグラフィーと化学エッチングで,基材に達する深さの溝をつけ,ZnOとNiOの界面が外気に触れるようにして,VOCセンサを作製した。このジャンクションにフォワードバイアスを加えて作製したセンサは,室温でもVOCを検出した。紫外線の照射下では,VOC検出感度が向上して,安定なVOCでも十分に検出できるようになった。理由を説明した。

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,  揮発性有機化合物 ,  多結晶 ,  マグネトロンスパッタリング ,  RFスパッタリング ,  酸化ニッケル ,  *PN接合 ,  *ヘテロ接合 ,  透明材料 ,  紫外線照射 ,  化学センサ ,  機構
準シソーラス用語： VOCセンサ ,  協奏機構

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (3件)： PN接合 ,  支援 ,  VOC