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J-GLOBAL ID：201002284965887890   整理番号：10A1567106

rfマグネトロンスパッタリングによる多結晶アナターゼとルチルTiO2薄膜の作成と特性分析

Preparation and characterization of polycrystalline anatase and rutile TiO2 thin films by rf magnetron sputtering

著者 (6件)： MIAO L ,  JIN P ,  KANEKO K ,  TERAI A ,  NABATOVA-GABAIN N ,  TANEMURA S
資料名： APPLIED SURFACE SCIENCE
巻： 212  ページ： 255-263  発行年： 2003年 
JST資料番号： O0615A  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  多結晶 ,  アナターゼ ,  ルチル ,  TiO2 ,  薄膜 ,  分析