文献

J-GLOBAL ID：201002285045177626   整理番号：10A0037828

UVナノ刷込み平版に用いるUV硬化樹脂の迅速な硬化反応速度:種々の光熱量測定結果による現象モデルの定量

Fast cure kinetics of a UV-curable resin for UV nano-imprint lithography: Phenomenological model determination based on differential photocalorimetry results

著者 (6件)： KIM Woo-song (School of Mechanical and Automotive Engineering, Kookmin Univ., 861-1 Jeongneung-dong, Seongbuk-gu, Seoul 136-702, KOR) ,  PARK Kyung-seo (School of Mechanical and Automotive Engineering, Kookmin Univ., 861-1 Jeongneung-dong, Seongbuk-gu, Seoul 136-702, KOR) ,  NAM Jin Hyun (School of Mechanical and Automotive Engineering, Kookmin Univ., 861-1 Jeongneung-dong, Seongbuk-gu, Seoul 136-702, KOR) ,  SHIN Donghoon (School of Mechanical and Automotive Engineering, Kookmin Univ., 861-1 Jeongneung-dong, Seongbuk-gu, Seoul 136-702, KOR) ,  JANG Siyoul (School of Mechanical and Automotive Engineering, Kookmin Univ., 861-1 Jeongneung-dong, Seongbuk-gu, Seoul 136-702, KOR) ,  CHUNG Tae-yong (School of Mechanical and Automotive Engineering, Kookmin Univ., 861-1 Jeongneung-dong, Seongbuk-gu, Seoul 136-702, KOR)
資料名： Thermochimica Acta  (Thermochimica Acta)
巻： 498  号： 1-2  ページ： 117-123  発行年： 2010年01月20日 
JST資料番号： E0350C  ISSN： 0040-6031  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： UVナノ刷込み平版(UV-NIL)に用いる紫外線(UV)光-硬化性樹脂の迅速な硬化反応速度について微分光熱量測定(DPC)を用いて測定した。軽度な硬化および高度な硬化における自触媒反応速度における初期の迅速な反応速度であるUV硬化樹脂の硬化挙動を説明するために簡便な現象モデルを公式化した。反応速度パラメータは誤差最小化法の利用により測定した硬化速度に最良に適合していた。ここで開発した現象モデルの実際の適用可能性はUV硬化樹脂で測定したものとモデル化した硬化挙動間の良好な一致により示された。予測した反応速度のモデルパラメータにおける硬化条件の効果についても研究した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *紫外線照射 ,  *光重合型樹脂 ,  *リソグラフィー ,  *架橋【高分子】 ,  *反応速度 ,  示差走査熱量測定 ,  触媒反応 ,  パラメータ ,  自触媒作用 ,  架橋度 ,  パターン形成
準シソーラス用語： *ナノインプリントリソグラフィー ,  反応速度パラメータ

分類 (2件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 刷込み ,  平版 ,  UV硬化樹脂 ,  硬化 ,  反応速度 ,  熱量測定 ,  現象 ,  モデル ,  定量