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J-GLOBAL ID：201002285302173858   整理番号：10A0283322

機械的衝撃下で静電気駆動する共振器の動的応答

The dynamic response of electrostatically driven resonators under mechanical shock

著者 (2件)： IBRAHIM Mahmoud I (State Univ. New York at Binghamton, NY, USA) ,  YOUNIS Mohammad I (State Univ. New York at Binghamton, NY, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 2  ページ： 025006,1-9  発行年： 2010年02月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS共振器は携帯電話や携帯型センサなどに使われるため,共振器の大きな信頼性上の課題の一つは機械的衝撃に対する耐性である。本稿では,静電気駆動共振器に対する機械的衝撃の影響について調べた。ac高調波負荷にdc負荷を重畳した静電気駆動の共振器をモデル化してシミュレーションを行った。その結果,機械的衝撃を受ける時間が非常に重要であることが分かった。固有衝撃とac励起条件に対して,共振器は初期的ダイナミックプルイン不安定性を生じることが分かった。これらの結果を容量センサを使って検証した結果,理論値と実験値はよく一致した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *静電気応用 ,  *共振器 ,  *動的応答 ,  計算機シミュレーション ,  センサ ,  静電容量 ,  衝撃強さ
準シソーラス用語： 容量センサ

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 衝撃 ,  静電気 ,  共振器 ,  動的応答