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J-GLOBAL ID：201002285436699350   整理番号：10A0622377

窒化アルミニウムのレーザーマイクロ溝加工に及ぼすレーザー波長の影響

著者 (4件)： 河野正道 (九大 工) ,  乙藤拓人 (九大 工) ,  森竜広 (九大 工) ,  高田康之 (九大 工)
資料名： 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM)
巻： 47th  ページ： ROMBUNNO.J223  発行年： 2010年 
JST資料番号： F0872D  ISSN： 1346-1532  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 窒化アルミニウムはシリコンと同等で熱膨張率が低く,絶縁性,放熱性も高いため,半導体回路基盤の材料として注目されている。また,近年では製品の小型化のために,微細加工が重要となっている。レーザーによる微細溝加工における重要なパラメータとしては,波長,エネルギー密度,単位長さあたりの照射パルス数,溝加工を行う送り運動の速さなどがあげられる。そこで,本研究では,上記のパラメータと,溝幅,溝深さ,アスペクト比の関係性の実験的検討を行なった。(著者抄録)

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  *マイクロマシニング ,  溝加工 ,  レーザ加工 ,  レーザビーム ,  波長依存性 ,  半導体素子 ,  基板 ,  微細加工 ,  *パラメータ ,  形状効果 ,  アスペクト比

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 窒化アルミニウム ,  レーザー ,  溝加工 ,  レーザー波長