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J-GLOBAL ID:201002285530636272   整理番号:10A1323749

半導体素子のマルチフェロイック薄膜集積化

Multiferroic thin-film integration onto semiconductor devices
著者 (5件):
資料名:
巻: 22  号: 42  ページ: 423201,1-17  発行年: 2010年10月27日 
JST資料番号: B0914B  ISSN: 0953-8984  CODEN: JCOMEL  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  半導体集積回路 
タイトルに関連する用語 (4件):
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