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J-GLOBAL ID：201002285618786002   整理番号：10A0402516

0.33%非線形性および2μg/√Hz入力雑音密度の±1.4g加速度計の閉ループSCインターフェース

A Closed-Loop SC Interface for a ±1.4g Accelerometer with 0.33% Nonlinearity and 2μg/√Hz Input Noise Density

著者 (5件)： YUCETAS Mikail (Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN) ,  SALOMAA Jarno (Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN) ,  KALANTI Antti (Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN) ,  AALTONEN Lasse (Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN) ,  HALONEN Kari (Helsinki Univ. Technol., Espoo, FIN)
資料名： Digest of Technical Papers. IEEE International Solid-State Circuits Conference  (Digest of Technical Papers. IEEE International Solid-State Circuits Conference)
巻： 2010  ページ： 433-435  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0753A  ISSN： 0193-6530  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 容量性MEMS加速度計は素子の共振を効率的に減衰させ,例えば,素子の開ループ読出しを可能にする大気圧の下で動作する。この加速度計が超低Brownian雑音水準を得るように要求され,ジャイロスコープのようなセンサーでパッケージされる場合,高品品質係数Qの共振モードは電気的に減衰される。センサーインターフェースのブロック図はセンサー素子の簡易電気モデルとSEM写真と共に示す。

シソーラス用語： インタフェイス ,  閉ループ系 ,  非線形性 ,  密度 ,  *加速度計 ,  センサ
準シソーラス用語： 入力雑音密度

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 非線形性 ,  雑音 ,  密度 ,  加速度計 ,  Sc ,  インターフェース