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J-GLOBAL ID：201002285804925020   整理番号：10A0666978

ディップペンナノリソグラフィーによる水メニスカスの分子シミュレーション

Molecular Simulation of the Water Meniscus in Dip-Pen Nanolithography

著者 (4件)： KIM Hyojeong (Pusan National Univ., Miryang, KOR) ,  SAHA Leton C. (Pusan National Univ., Miryang, KOR) ,  SAHA Joyanta K. (Pusan National Univ., Miryang, KOR) ,  JANG Joonkyung (Pusan National Univ., Miryang, KOR)
資料名： Scanning  (Scanning)
巻： 32  号： 1  ページ： 2-8  発行年： 2010年01月 
JST資料番号： D0300B  ISSN： 0161-0457  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡のチップを水表面に接触させた場合に生じる水メニスカス構造を分子動的シミュレーションにより検討した。チップは半径12nmの球面シリコンであり,横方向寸法が17nm×17nmのAu(111)表面から1.5nm離し,チップと表面の間に水を3nm幅で凝縮させた。水メニスカスはチップの軸の周りに対称的に形成された。この水メニスカスを通しての非分極疎水性分子の輸送の動的シミュレーションを行った。分子は内部に溶解することなくメニスカスの表面上を移動し,結果としてディップペンナノリソグラフィー(DPN)中に輪状パターンが形成された。分子はチップから流れ,メニスカスが円筒対称性を持つ場合でも,ナノ秒時間スケール内に表面に異方的パターンが成長した。

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  原子間力顕微鏡 ,  マイクロプローブ ,  ケイ素 ,  パターン形成 ,  *メニスカス ,  計算機シミュレーション ,  疎水性 ,  分子拡散 ,  表面拡散 ,  毛管凝縮 ,  水分子
準シソーラス用語： *ディップペンナノリソグラフィー ,  ナノプローブ ,  動的シミュレーション ,  分子動力学シミュレーション

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  液-気界面  (CB12020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： ディップペンナノリソグラフィー ,  水 ,  メニスカス ,  分子シミュレーション