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J-GLOBAL ID：201002285869897253   整理番号：10A0821656

大気開放型プラズマを利用した固体原料からのナノ粒子合成

著者 (1件)： 清水禎樹 (産業技術総合研 ナノシステム研究部門)
資料名： 高温学会誌  (Journal of High Temperature Society)
巻： 36  号： 4  ページ： 174-177  発行年： 2010年07月20日 
JST資料番号： F0907B  ISSN： 0387-1096  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 著者は簡易な方法でナノ粒子を得る方法を探索しており,その一つとして小径の管内でプラズマを発生させ対象材料のワイヤを供給源としてナノ粒子を合成する方法を提案した。本稿においては,この技術をMoとAuに対して実施した実験の結果を示した。Moナノ粒子の合成においては,内径1mm程度のアルミナ管内に200~300μmのMoワイヤを挿入し,高周波で発生させたAr/H₂プラズマを用いて蒸発させ,プラズマ下流に配置した基板上に堆積させた。得た粒子の走査型電子顕微鏡観察,X線回折等でキャラクタリゼーションを行なった。直径1mm程度の狭い領域に,球状あるいは星状のMoナノ粒子の堆積を観察した。同様にAuについての実験例を示し,ここでは,最適プラズマ条件の探索について述べた。

シソーラス用語： *モリブデン ,  金 ,  *ナノ粒子 ,  *プラズマ処理 ,  金属線

分類 (1件)： 粉末製造  (WC02020M)

引用文献 (8件)：

• 1) Y. Shimizu, T. Sasaki, A. C. Bose, K. Terashima, N. Koshizaki: Surf. Coat. Technol., 200 (2006), 4251-4256.
• 2) S. Ohno and S. Uda: J. Jpn. Inst. Metals, 48 (1984), 640-646.
• 3) 清水禎樹: 応用物理学会誌, 77(2008), 411-414.
• 4) Y. Shimizu, K. Koga, T. Sasaki and N. Koshizaki: CrystEngComm, 11 (2009), 1940-1946.
• 5) S. Ohno and S. Uda: J. Jpn. Inst. Metals, 48 (1984), 640-646.

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気 ,  開放型 ,  プラズマ ,  固体原料 ,  ナノ粒子合成