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J-GLOBAL ID：201002286064873630   整理番号：10A1152272

クロム膜を被覆した単一ZnOベルトを利用したミクロ力センサ

A Micro Force Sensor Based on a Single ZnO Belt Coated with Chromium Film

著者 (6件)： REN Xiaoyan (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  REN Xiaoyan (Univ. Sci. and Technol. Beijing, Beijing, CHN) ,  YANG Xing (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  ZHOU Zhaoying (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  LI Jinming (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  LIU Jing (Univ. Sci. and Technol. Beijing, Beijing, CHN)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 10  号： 11  ページ： 7250-7253  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極薄Cr膜材料の力学特性に基づいて,膜変形と変形応力の関係を計算して,曲げが小さい領域で曲げ力と膜の抵抗の間に線形関係を見出した。このミクロ力センサの作成技術を提案して,関連する実験を行った。実験結果もCr膜の抵抗が曲げ力に敏感であることを示した。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *センサ ,  力 ,  *被覆 ,  金属薄膜 ,  *クロム ,  応力歪特性 ,  電気抵抗 ,  *曲げ ,  ベルト
準シソーラス用語： *力センサ ,  マイクロ力センサ ,  曲げ力

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： クロム ,  ZnO ,  ベルト ,  力センサ