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J-GLOBAL ID：201002286116671372   整理番号：10A0556275

Si太陽電池へのスクリーン印刷接触の急速熱焼成のためのIRベルト炉の理解と利用

Understanding and Use of IR Belt Furnace for Rapid Thermal Firing of Screen-Printed Contacts to Si Solar Cells

著者 (6件)： COOPER Ian B. (Georgia Inst. Technol., GA, USA) ,  EBONG Abasifreke (Georgia Inst. Technol., GA, USA) ,  RENSHAW John S. (Georgia Inst. Technol., GA, USA) ,  REEDY Robert (National Renewable Energy Lab., CO, USA) ,  AL-JASSIM Mowafak (National Renewable Energy Lab., CO, USA) ,  ROHATGI Ajeet (Georgia Inst. Technol., GA, USA)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 31  号： 5  ページ： 461-463  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光電池工業では,デバイスの性能向上とともに材料処理のコスト低減が注目されている。Si太陽電池処理工程では,スクリーン印刷接触焼成がデバイスの性能に重要である。また,太陽電池の直列抵抗損失の最小化が重要である。それには,急速熱焼成(RTP)が,開発されている。しかし,従来の結果は,単一ウエハ処理に限定されている。工業生産規模のためには,デバイス信頼性と高スループットの同時達成が要求されている。本レターでは,その解決のために,高速ベルト炉を検討した。すなわち,RTPの品質とコンベアベルトシステムを組合わせるために,その接触形成の物理的理解を推進した。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *スクリーン印刷 ,  *焼成 ,  赤外線 ,  光電池 ,  *接触 ,  電気抵抗 ,  ウエハ【IC】 ,  信頼性 ,  スループット ,  コンベヤベルト
準シソーラス用語： 直列抵抗

分類 (3件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  印刷技術一般  (ZA05010T) ,  熱処理設備  (WC03050A)

タイトルに関連する用語 (7件)： Si ,  太陽電池 ,  スクリーン印刷 ,  焼成 ,  Ir ,  ベルト ,  理解