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J-GLOBAL ID：201002286152266751   整理番号：10A0945843

SrTiO₃のマイクロ波プラズマ窒化物形成: SrTiO_3-xN_y成長と構造的変化の定量的EELS,TEM,STEM-HAADF解析

Microwave Plasma Nitridation of SrTiO₃: A Quantitative EELS, TEM, and STEM-HAADF Analysis of the SrTiO_3-xN_y Growth and the Structural Evolution

著者 (3件)： AGUIRRE Myriam H. (Empa-Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol., CHE) ,  SHKABKO Andrey (Empa-Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol., CHE) ,  WEIDENKAFF Anke (Empa-Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol., CHE)
資料名： Crystal Growth & Design  (Crystal Growth & Design)
巻： 10  号： 8  ページ： 3562-3567  発行年： 2010年08月 
JST資料番号： W1323A  ISSN： 1528-7483  CODEN： CGDEFU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査,高分解能透過電顕(STEM,HRTEM),電子エネルギー損失分光,ナノメータスケールでの元素マッピングと組み合わせたエネルギー分散/X線分光(EELS/EDX)によりマイクロ波プラズマ窒化物SrTiO₃の構造的とマイクロ構造的変化を検討した。EELS/EDXマッピングは表面上におけるSrTiO_3-xN_y単結晶生成とTiN_1-xO_yナノ粒子層生成を示す。これはプラズマ処理に依存する。積層不整はSrO面過剰またはTiO₂面過剰の単結晶SrTiO_3-x中に,見出される一般的欠損である。SrOの過剰はRuddlesden-Popper面欠陥として集積し,3次元ナノ構造の配列を示す。TiO_2-xN_yの過剰は結晶学的せん断欠損として集積する。構造中への窒素取り込みは原子レベルで均一ではなく,高濃度の窒素がSr不足面欠損中に見出される。

シソーラス用語： *チタン酸ストロンチウム ,  プラズマ ,  *プラズマ化学反応 ,  *窒化 ,  *窒化物 ,  *チタン化合物 ,  *ストロンチウム化合物 ,  *固溶体 ,  *単結晶 ,  結晶成長 ,  電子顕微鏡観察 ,  電子エネルギー損失分光法 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  *微細構造 ,  *格子不整合
準シソーラス用語： マイクロ波プラズマ ,  *窒化チタンストロンチウム

分類 (2件)： 荷電体衝撃・放電による反応  (CB06020R) ,  その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

タイトルに関連する用語 (8件)： マイクロ波プラズマ ,  窒化物 ,  成長 ,  定量 ,  EELS ,  TEM ,  STEM ,  解析