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J-GLOBAL ID：201002286207919849   整理番号：10A0391038

パルスマイクロ波放電により作製したNCDコーティングの浸食摩耗抵抗

Erosive wear resistance of NCD coatings produced by pulsed microwave discharges

著者 (6件)： ALMEIDA F.a. (CICECO-Dept. of Ceramics & Glass Engineering, Univ. of Aveiro, 3810-193 Aveiro, PRT) ,  DERKAOUI N. (LIMHP, UPR 1311 CNRS, Univ. Paris 13, 93430 Villetaneuse, FRA) ,  OLIVEIRA F.j. (CICECO-Dept. of Ceramics & Glass Engineering, Univ. of Aveiro, 3810-193 Aveiro, PRT) ,  BENEDIC F. (LIMHP, UPR 1311 CNRS, Univ. Paris 13, 93430 Villetaneuse, FRA) ,  SILVA R.f. (CICECO-Dept. of Ceramics & Glass Engineering, Univ. of Aveiro, 3810-193 Aveiro, PRT) ,  GICQUEL A. (LIMHP, UPR 1311 CNRS, Univ. Paris 13, 93430 Villetaneuse, FRA)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 19  号： 5-6  ページ： 484-488  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ結晶ダイアモンド(NCD)膜に対する浸食試験は,コーティングした材料が粒子衝突に曝される応用を予期した浸食摩擦抵抗の評価のみに限らず,基板に対する密着性の評価法としての意味がある。アルゴンリッチの混合ガス中で,連続(CW)およびパルス(PW-50HzおよびPW-500Hz)放電モードマイクロ波プラズマ援用堆積法により,Si₃N₄セラミック上にNCD膜を成長させた。PWモードで成長した膜は,CWのそれに比べてより小さい結晶サイズと表面粗さを示した。一方,基板のCF₄プラズマによる予備処理を用いると膜の均一性は一層向上した。ヘルツの応力場計算による選択したパラメータと共に,SiC(45~250μmサイズ)を浸食用材料として用いた固体粒子衝突により,NCDコーティングの浸食摩耗抵抗を評価した。層間剥離が生じるまで,膜の重量損失は検出できなかった。150μmのSiC粒子による試験を行った時,CF₄プラズマによる予備処理を行った基板は,未処理の試料と比較して層間剥離時間を3倍(15分)大きくした。一方,PW-50Hzの条件でコートした試料は,CWのそれに比べ6倍小さい浸食速度を示した。PWモードを用いることにより改善された核発生挙動と,CF₄プラズマによる予備処理を行った試料上のより高い均一性が,ダイアモンド/基板界面の欠陥密度を減少させ,密着レベルの向上につながった。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  薄膜 ,  ナノ結晶 ,  製膜 ,  プラズマCVD ,  トライボロジー ,  摩耗試験 ,  エロージョン腐食 ,  剥離 ,  付着力 ,  耐摩耗性

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (6件)： パルス ,  マイクロ波放電 ,  作製 ,  コーティング ,  浸食 ,  摩耗抵抗