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J-GLOBAL ID:201002286308285549   整理番号:10A0846317

青色発光InGaN多重量子井戸における圧電場に対するパターン形成サファイア基板の影響

Effects of Patterned Sapphire Substrates on Piezoelectric Field in Blue-Emitting InGaN Multiple Quantum Wells
著者 (11件):
資料名:
巻: 31  号:ページ: 842-844  発行年: 2010年08月 
JST資料番号: B0344B  ISSN: 0741-3106  CODEN: EDLEDZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ディスプレイ用や照明器具用として,高輝度発光ダイオード(LEDs)の開発が求められている。しかし,GaN上のInxGa1-xNのシュードモルフィック成長が原因の不整合歪により生じたInGaN/GaN量子井戸(QWs)に圧電場が存在するため,発光波長のシフトだけでなく発光効率が低下する。本稿では,パターン形成サファイア基板(PSS)上に製作したInGaN/GaN QWs中の歪と圧電場をマイクロRaman分光と電界反射分光により調べた。その結果,平板サファイアとナノサイズPSS上で圧電場は,それぞれ0.83MV/cmと0.70MV/cmであった。この差は,残留歪によるもので,GaN層上の成長させたInGaN QWの歪を低減すれば圧電場を低減できることが分かった。
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分類 (2件):
分類
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発光素子  ,  13-15族化合物を含む半導体-半導体接合 

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