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J-GLOBAL ID：201002286593336844   整理番号：10A0552796

統合積み重ね可能な環状プレート吸着バルブによるパリレン構造における改良型自己シール性液のカプセル化

IMPROVED SELF-SEALING LIQUID ENCAPSULATION IN PARYLENE STRUCTURES BY INTEGRATED STACKABLE ANNULAR-PLATE STICTION VALVE

著者 (2件)： GUTIERREZ Christian A. (Univ. Southern California, California, USA) ,  MENG Ellis (Univ. Southern California, California, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 23rd Vol.1  ページ： 524-527  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パリレンベース液封入のためのの改良型自己シール構造について述べた。パリレンベースの吸着バルブは,マイクロチャンバー内でのウェハーレベル液シールで優れた性能を示す。著者らは,全体の設置面積を大幅に減ずるために,最適環状プレートバルブ設計ガイドラインを統合デバイスに結合させ,長時間の液封入性能を成就した。デバイス設計では,3つの要素から構成し,環状プレート吸着バルブ,周辺の流体アクセスポート,及びマイクロチャンバーからなる。バルブの構造と動作原理を詳細に示した。また製造方法も述べたが,ポリマー材が利用できるように製造は90°Cという低温で行った。吸着バルブのシーリングと液の封入性能を光学的観測が出来る状態でサンプル金型を用いて評価した。デバイスは脱イオン化水で満たした。試験結果として,シーリング,液封入性能,液体ロスメカニズムについて述べた。この方法は,液封入が要求されるところでは多くの応用を拡大する可能性がある。

シソーラス用語： *形態 ,  *吸着 ,  弁 ,  ポリキシリレン ,  密封装置 ,  カプセル ,  微細構造 ,  指針 ,  ウエハ【IC】 ,  原理 ,  生産方式
準シソーラス用語： *Parylene ,  ガイドライン ,  シール ,  *バルブ ,  ミクロ構造 ,  *環状 ,  製造方法 ,  動作原理

分類 (2件)： 密封装置  (QB01100J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 統合 ,  積み重ね ,  環状 ,  吸着 ,  バルブ ,  パリレン ,  自己 ,  シール性 ,  カプセル化