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J-GLOBAL ID：201002286825857820   整理番号：10A0857190

音弾性法による多結晶シリコンインゴットの残留応力評価

著者 (3件)： 平井裕士 (和歌山大 大学院システム工学研究科) ,  村田頼信 (和歌山大 システム工) ,  戸田裕己 (電子科学研)
資料名： 非破壊検査に関する研究発表会講演概要  (非破壊検査に関する研究発表会講演概要集)
巻： 2010  ページ： 33-36  発行年： 2010年 
JST資料番号： L5697A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在,太陽電池の原料として多結晶シリコンが広く用いられる。しかし,製造工程における品質向上が課題である。本研究では多結晶シリコンの品質に影響すると考えられている残留応力を音弾性法により測定することを目的とした。今回は多結晶シリコン中の表面SH波の音速を測定するために製作したセンサの評価,多結晶シリコンの音速分布を測定した結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： ケイ素 ,  インゴット ,  *残留応力 ,  *音弾性 ,  *ポリシリコン ,  速度分布 ,  音速 ,  表面波 ,  SH波 ,  入射角 ,  超音波 ,  鋳込速度 ,  太陽電池
準シソーラス用語： *多結晶シリコン

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 音弾性 ,  多結晶シリコン ,  インゴット ,  残留応力 ,  評価