文献

J-GLOBAL ID：201002286898741129   整理番号：10A1193772

集積表面マイクロマシン加工マスフローコントローラ

Integrated surface-micromachined mass flow controller

著者 (3件)： XIE J ,  SHIH J ,  TAI Yc
資料名： MEMS-03: IEEE THE SIXTEENTH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS
ページ： 20-23  発行年： 2003年 
JST資料番号： I20030659  ISSN： 1084-6999  ISBN： 0-7803-7744-3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： 集積 ,  マイクロマシン加工 ,  マスフローコントローラ