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J-GLOBAL ID：201002286953213900   整理番号：10A1012589

CoFeB/MgOトンネル接合の接合プロフィルに及ぼすアニーリングの効果

The effect of annealing on the junction profile of CoFeB/MgO tunnel junctions

著者 (10件)： HE Hui (Inst. fuer Experimentalphysik/Festkoerperphysik, Ruhr-Universitaet Bochum, 44780 Bochum, DEU) ,  ZHERNENKOV Kirill (Inst. fuer Experimentalphysik/Festkoerperphysik, Ruhr-Universitaet Bochum, 44780 Bochum, DEU) ,  VADALA Miriana (Inst. fuer Experimentalphysik/Festkoerperphysik, Ruhr-Universitaet Bochum, 44780 Bochum, DEU) ,  AKDOGAN Numan (Dep. of Physics, Gebze Inst. of Technol., 41400 Kocaeli, TUR) ,  GORKOV Dmitry (Inst. fuer Experimentalphysik/Festkoerperphysik, Ruhr-Universitaet Bochum, 44780 Bochum, DEU) ,  ABRUDAN Radu M. (Inst. fuer Experimentalphysik/Festkoerperphysik, Ruhr-Universitaet Bochum, 44780 Bochum, DEU) ,  TOPERVERG Boris P. (Inst. fuer Experimentalphysik/Festkoerperphysik, Ruhr-Universitaet Bochum, 44780 Bochum, DEU) ,  ZABEL Hartmut (Inst. fuer Experimentalphysik/Festkoerperphysik, Ruhr-Universitaet Bochum, 44780 Bochum, DEU) ,  KUBOTA Hitoshi (Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN) ,  YUASA Shinji (Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 108  号： 6  ページ： 063922  発行年： 2010年09月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CoFeB/MgOトンネル接合のトンネル磁気抵抗効果は,電極と障壁を非晶質状態の室温で成長させても,例外的に高い。その機能性に対して,高温に達するアニーリング段階が必要である。著者らは,360°Cに達するアニーリングについて,化学的プロフィルと磁化プロフィルとの変化を詳細に解析した。本研究に用いた多層は,磁気トンネル接合について使用したものと類似であるが,本研究では,アニーリングを5回反復した。特に,著者らは,アニーリングに伴ういかなる変化をも明らかにするため,硬い非共鳴磁気X線散乱および軟い共鳴磁気X線散乱を使用した。上記多層は,アニーリングによっては変化しにくい優れた構造品質を示した。CoFeBおよびMgO層の僅かな再結晶が,驚いたことに,X線回折によって識別できることを記した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *トンネル接合 ,  *コバルト合金 ,  鉄含有合金 ,  ホウ素含有合金 ,  *酸化マグネシウム ,  磁気抵抗効果 ,  トンネル効果 ,  界面 ,  非晶質 ,  スパッタ蒸着 ,  焼なまし ,  再結晶 ,  X線回折 ,  シンクロトロン放射 ,  温度依存性 ,  基板 ,  ケイ素 ,  多層 ,  共鳴散乱 ,  X線反射 ,  磁化
準シソーラス用語： X線磁気散乱 ,  トンネル磁気抵抗効果 ,  共鳴X線散乱 ,  磁気トンネル接合

分類 (1件)： 金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F)

タイトルに関連する用語 (4件)： MgO ,  トンネル接合 ,  プロフィル ,  アニーリング