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J-GLOBAL ID：201002287182928526   整理番号：10A0587290

共形,官能性,および応答性の高分子膜の化学蒸着

Chemical Vapor Deposition of Conformal, Functional, and Responsive Polymer Films

著者 (13件)： ALF Mahriah E. (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  ASATEKIN Ayse (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  BARR Miles C. (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  BAXAMUSA Salmaan H. (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  CHELAWAT Hitesh (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  OZAYDIN-INCE Gozde (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  PETRUCZOK Christy D. (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  SREENIVASAN Ramaswamy (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  TENHAEFF Wyatt E. (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  TRUJILLO Nathan J. (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  VADDIRAJU Sreeram (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  XU Jingjing (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA) ,  GLEASON Karen K. (Massachusetts Inst. of Technol., MA, USA)
資料名： Advanced Materials  (Advanced Materials)
巻： 22  号： 18  ページ： 1993-2027  発行年： 2010年05月11日 
JST資料番号： W0001A  ISSN： 0935-9648  CODEN： ADVMEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単量体の化学蒸着(CVD)による機能性高分子膜の作製について総説した。A.序論 A1.CVDによる高分子合成の動機 A2.CVDの化学およびプロセスの概観(連鎖成長CVD高分子;逐次成長CVD高分子) B.CVD高分子のキャラクタリゼーション B1.共形 B2.官能性(表面エネルギー制御;蒸着後官能化のための置換基;電気伝導性) B3.応答性(中性ヒドロゲル;pH応答層;温度応答層;圧電およびエレクトロクロミズム挙動) B4.CVD重合における界面および膜成長の制御(接着性増強;膜厚範囲;実時間制御;組成勾配) C.テーマの統一化 C1.CVDの機構的特性(ラジカル連鎖成長機構;縮合逐次成長重合) C2.CVDの基礎(吸着,反応,および拡散律速領域;単量体の吸着および反応性;ステップ被覆および付着係数;反応器設計およびスケールアップ D.応用例 D1.微細加工(エアギャップ;微小機械および電気システム(MEMS),パターン形成) D2.生物医学 D3.膜(膜のCVD高分子による表面修飾の動機;内部細孔表面の修飾のための共形CVD高分子;複合膜のための非共形CVD高分子) D4.ミクロおよびナノ粒子ならびに組成物 E.結論。

シソーラス用語： *高分子膜 ,  *化学蒸着 ,  単量体 ,  *機能性高分子 ,  連鎖成長反応 ,  官能化 ,  表面エネルギー ,  導電性 ,  ヒドロゲル ,  圧電材料 ,  界面 ,  膜厚 ,  濃度勾配 ,  反応機構 ,  ラジカル重合 ,  界面重縮合 ,  吸着 ,  反応速度 ,  拡散 ,  反応性 ,  表面ステップ ,  反応器 ,  微細加工 ,  MEMS ,  パターン形成 ,  医学 ,  表面改質 ,  細孔構造 ,  複合膜 ,  微粒子 ,  pH応答性高分子 ,  エアギャップ ,  実時間制御 ,  熱応答性高分子 ,  粘着性
準シソーラス用語： ミクロ粒子 ,  温度応答性高分子 ,  生物医学 ,  接着性 ,  表面修飾

分類 (4件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  固-気界面一般  (CB12041H) ,  高分子固体のその他の性質  (CG02025L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 形 ,  官能性 ,  応答性 ,  高分子膜 ,  化学蒸着