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J-GLOBAL ID：201002288118181847   整理番号：10A0351659

電子・光デバイスの超精密・マイクロ加工技術と計測技術 総論-今後も応用が広がる超精密・マイクロ加工技術と計測技術-

著者 (1件)： 鈴木浩文 (中部大)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 340  ページ： 156-159  発行年： 2010年04月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密・マイクロ機械加工技術の現状と応用製品例について述べた。現在では10nmレベルの形状精度と1nmレベルの表面粗さの機械加工も可能となっている。これまでの超精密加工技術は,主に,AV機器,光通信機器,記録デバイス,赤外光学デバイスなど光学デバイスを対象にしたものであった。今後の新しいデバイスとして,車載用光学デバイスではマイクロフレネルレンズとマイクロ球面レンズアレイを,医療用デバイスでは診断用のマイクロ流体チップを,半導体検査用デバイスではLSI検査用プローブを,および次世代の光学デバイスではウエハレベルのカメラモジュールを説明した。

シソーラス用語： 光学素子 ,  固体素子 ,  超精密加工 ,  微細加工 ,  計測工学 ,  *機械工作
準シソーラス用語： 計測技術 ,  光デバイス ,  電子デバイス

分類 (1件)： 工作一般  (QC01010O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子 ,  光デバイス ,  超精密 ,  マイクロ加工 ,  計測技術 ,  応用