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J-GLOBAL ID：201002288318251025   整理番号：10A1339319

U形接合井戸内からの電荷収集確率の解析式

An Analytical Expression for Charge Collection Probability From Within a U-Shaped Junction Well

著者 (2件)： TAN Chee Chin (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  ONG Vincent K. S. (Nanyang Technological Univ., Singapore)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 57  号： 11  ページ： 3068-3073  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： U形接合井戸内電荷収集確率の新解析式を提案した。U形接合井戸は,多くの集積回路に見られる共通形状である。発生量関数の分布を用いて,電荷収集確率関数を畳み込むことにより,全誘起電流を決定することができた。電荷収集確率は,発生キャリアが電荷収集接合で収集される確率である。その解析式の主応用として,電子ビーム誘起電流(EBIC)方法を中心にしたが,ビームの性質に依存しない,この解析式は,同一の動作原理を共有する他の全方法,例えば光ビーム誘起電流(OBIC)方法に応用可能である。さらに,その解析式は,太陽電池など半導体素子の把握と解析にも有用である。電荷収集確率の新解析式は,不確定形の総和を含むため,既存の解析式に関係した計算複雑性を回避した。また,解析プロファイルの精度も改善した。MEDICIシミュレーション結果を用いることにより,その新解析式を用いて計算した解析プロファイルを検証し,両結果は良く一致することを示した。また,発生源の深さ,接合深さ,拡散長と接合幅など,各パラメータの影響についても検討した。

シソーラス用語： *電荷 ,  *収集 ,  少数キャリア ,  *電子線誘起電流 ,  *半導体素子 ,  *シミュレータ ,  拡散距離 ,  キャリア移動度 ,  半導体材料 ,  太陽電池
準シソーラス用語： 電荷キャリア

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (5件)： U形 ,  井戸 ,  電荷収集 ,  確率 ,  解析