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J-GLOBAL ID：201002288344768524   整理番号：10A0951048

多重モデル適応推定器を用いたMEMS横方向くし型共振器の故障診断

Fault Diagnosis of MEMS Lateral Comb Resonators Using Multiple-Model Adaptive Estimators

著者 (2件)： IZADIAN Afshin (Univ. California at Los Angeles, CA, USA) ,  FAMOURI Parviz (West Virginia Univ., WV, USA)
資料名： IEEE Transactions on Control Systems Technology  (IEEE Transactions on Control Systems Technology)
巻： 18  号： 5  ページ： 1233-1240  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： W0515A  ISSN： 1063-6536  CODEN： IETTE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,良く知られた多重モデル適応推定器(MMAE)技術を,微小電気機械システム(MEMS)横方向くし型共振器(LCR)の故障診断に適用した。LCRを,二次質量-ばね-ダンパシステムにおいてモデル化できた。異なったパラメータをもつ複数のシステムを設計し,故障条件を表現し,故障シナリオを形成した。Kalmanフィルタを,種々の雑音成分を考慮に入れてマイクロシステムにおける故障のモデリングに用いた。出力変位を,デバイスにおける主たる故障インジケータとして用いた。MEMSデバイスの故障診断におけるMMAEの成功裏の適用を,作成したLCRにより実験的に実証した。Kalmanフィルタのゆっくり変動するパラメータ系における適用および,故障診断に対して多重モデル適応推定技術において用いるべき残留信号計算におけるその活用について実証した。

シソーラス用語： 推定 ,  適応 ,  *MEMS ,  横方向 ,  *共振器 ,  櫛形 ,  *故障診断 ,  質量 ,  ばね ,  ダンパ ,  *Kalmanフィルタ ,  雑音 ,  モデリング
準シソーラス用語： インディケータ ,  マイクロシステム ,  多重モデル ,  微小電気機械システム

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多重モデル ,  適応推定 ,  MEMS ,  横方向 ,  くし型 ,  共振器 ,  故障診断